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中走絲線內圓切開技能及切開機床查驗標準

2021-01-04 09:50:07

中走絲機床廠家中走絲線內圓切開技能及切開機床查驗標準

中走絲機床廠家

中走絲線切割加工中同內圓切開技能相比有其顯著的缺點,一是片厚平均誤差較大(約為內圓切開技能2倍)。二是切開進程中智能檢測控制不易完成。三是切開進程的成功率要求較高,風險大,一但斷絲而不行搶救時,直接糟蹋一根單晶棒。四是不能完成單片質量控制,一次切開完成后,才干檢測一批圓片的切開質量,并且圓片之間切開質量也不相同。

在這些方面,電火花線切開內圓切開技能卻顯示出其優越性來。具體表現在:

a、自動、單片方式切換操作方便性。、

b、小批量多標準加工時靈活的加工可調性。

c、切片精度高,切片成本低,同標準級的內圓切片機價格為線切開機價格1/3~1/4,線切開機還需裝備專用粘料機,每片都可調整。

d、低成本的輔料(線切開機磨料及磨料液要守時更換)。

e、不同片厚所需較小的調整時刻,不同棒徑所需較小的調整時刻。f、修刀、裝刀方便。八十年代中后期人們普遍認為:隨著硅晶片大片徑化開展,線切開技能是硅片切開的干流技能,在規?;A片切開中將替代內圓切開技能。因而人們加大了對200mm以上線切開機的研究,以處理其技能不足。

中走絲線切割機床預查驗的意圖是為了查看、驗證機床能否滿足用戶的加工質量及生產率,查看供貨商提供的資料、備件。其首要作業包含:

(1)查驗機床首要零部件是否按合同要求制造。

(2)各機床參數是否到達合同要求。

(3)查驗機床幾許精度及位置精度是否合格。

(4)機床各動作是否正確。

(5)對合同未要求部分查驗,如發現不滿意處可向生產廠家提出,以便及時改善。

(6)對試件進行加工,查看是否到達精度要求。

(7)做好預查驗記錄,包含精度查驗及要求改善之處,并由生產廠家簽字。



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